装置のマスバランス試験　MASS BALANCE TEST

半導体産業における環境対策の1つとして、個々の装置において、プロセスに供給された化学物質が、プロダクトに使われる量、廃液として排出される量、気化・ミスト状となり排気として排出される量を総合的に分析、測定して、プロセスにおける物質収支（MASS　BALANCE）を報告いたします。

本要求について、International SEMATECHにより、Guidelines for Environmental Characterization of Semiconductor Equipment: 06124825B-ENG として、既に発行されております。

薬液に対するマスバランス試験に当たっては、測定技術はもとより、半導体製造プロセスおよびそのプロセス化学物質の把握および理解が必要となり、通常の分析会社では、最終的なマスバランス試験実施・報告書作成は困難を考えられます。 当社は長年半導体業界のプロセス安全設計評価に携わっており、また化学分析・測定に関しても経験の豊富な当社に安心して、お任せください。

FTIR（フーリエ変換赤外分光光度計）分析

環境対策のため、プロセス排気のFTIR分析を行い、プロセス装置(Wet Station, Coater, Etcher, CVD etc.)に対して、マスバランステストを実施いたします。

下記いたしましたデータは、半導体製造装置の稼動時に、装置から排出される排気の定性・定量分析の1例でございます。MASS　BALANCE　TESTにおいて、装置から排出される排気成分をリアルタイムで定性・定量分析が可能であります。

リサイクルと省資源

最適排気量評価と省エネルギー対策
プロセル排気・排液中化学物質のリサイクル/POU研究

Worker Safety

作業者の労働安全のためのシステムを提案します。

• Man-Machine インターフェース
• 毒性化学物質/非イオン化放射/レーザー被曝防止
• 危険エネルギー管理
• 緊急事態における遮断システム

最先端バイオ技術応用研究

毒性化学物質の分解、Immobolization cell の応用、汚染水バイオレメディエーション、土壌汚染浄化
関連会社：エコサイクル株式会社

SW制御システム

EHSにおける装置稼働率、制御システム安全とインターオペラビリティに関するリスク査定を行います。

• SEMI CIM Frame Workとシステムリスク低減
• WIP安全と復旧
• 装置Maturity、インターオペラビリティと稼働率
• 工場増設とシステム協調

装置EHSと火災安全対策

• SEMI S2/S8/S14/FE/IFC/CE適合の統合安全最適設計と火災安全対策を提案いたします。
• SEMI S2/S8/S14/FE/IFC/CE統合最適設計
• 非可燃性雰囲気実証とプロセス安全
• ”Class I, Division 2危険区域”適用回避に伴う防爆電気設計回避
• SEMI S14 火災安全リスク査定
• 最適排気設計とIFC適合設計